高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)
仪器简介：
高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专 利 UNHT 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
主要特点：
●环境条件下低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内低热漂移 (< 3 nm/min)。
●高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
●高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至*低。
●独特的加热控制系统（3 项专 利待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
●符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准
技术指标：
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载荷 |
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*大载荷 |
100 mN |
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载荷分辨率 |
6 nN |
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本底噪音 |
0.5 [rms] [μN]* |
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位移 |
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*大位移 |
100 μm |
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位移分辨率 |
0.003 nm |
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本底噪音 |
0.15 [rms] [nm]* |
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极限真空度 |
10? mBar |
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*高温度 |
800 °C |
*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。
